Quận Nam Từ Liêm được thành lập theo Nghị quyết số 132/NQ-CP[1] ngày 27 tháng 12 năm 2013 của Chính phủ, trên cơ sở điều chỉnh toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của 5 xã: Mễ Trì, Mỹ Đình, Trung Văn, Tây Mỗ, Đại Mỗ; 536,34 ha diện tích tự nhiên và 34.052 nhân khẩu của xã Xuân Phương (phía Nam quốc lộ 32); 137,75 ha diện tích tự nhiên và 23.279 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn (phía Nam quốc lộ 32 và phía Đông sông Nhuệ) thuộc huyện Từ Liêm cũ. Đồng thời, thành lập 10 phường thuộc quận Nam Từ Liêm như sau:

- Thành lập phường Trung Văn trên cơ sở toàn bộ 277,58 ha diện tích tự nhiên và 29.850 nhân khẩu của xã Trung Văn.

- Thành lập phường Đại Mỗ trên cơ sở toàn bộ 498,19 ha diện tích tự nhiên và 26.741 nhân khẩu của xã Đại Mỗ.

- Thành lập phường Tây Mỗ trên cơ sở toàn bộ 604,53 ha diện tích tự nhiên và 22.557 nhân khẩu của xã Tây Mỗ.

- Thành lập phường Mễ Trì trên cơ sở 467,30 ha diện tích tự nhiên và 26.688 nhân khẩu của xã Mễ Trì.

- Thành lập phường Phú Đô trên cơ sở 239 ha diện tích tự nhiên và 13.856 nhân khẩu còn lại của xã Mễ Trì.

- Thành lập phường Mỹ Đình 1 trên cơ sở 228,20 ha diện tích tự nhiên và 23.987 nhân khẩu của xã Mỹ Đình.

- Thành lập phường Mỹ Đình 2 trên cơ sở 197 ha diện tích tự nhiên và 26.991 nhân khẩu của xã Mỹ Đình.

- Thành lập phường Cầu Diễn trên cơ sở 137,75 ha và 23.279 nhân khẩu của thị trấn Cầu Diễn; 41,47 ha diện tích tự nhiên và 4.893 nhân khẩu còn lại của xã Mỹ Đình. Phường Cầu Diễn có 179,22 ha diện tích tự nhiên và 28.172 nhân khẩu.

- Thành lập phường Phương Canh trên cơ sở 260,76 ha diện tích tự nhiên và 20.243 nhân khẩu của xã Xuân Phương.

- Thành lập phường Xuân Phương trên cơ sở 275,58 ha diện tích tự nhiên và 13.809 nhân khẩu còn lại của xã Xuân Phương.